Purwaningsih, Sri Yani and -, Ihsan and -, Triwikantoro (2009) Deposisi Lapisan Tipis ZnO:Al Dengan DC-Sputtering Sebagai Bahan Sensor Gas CO. Prosiding Seminar Fisika dan Aplikasinya 2009.
Preview |
Text
2009_DeposisiLapisanTipisZnO-Al_ProsidingSeminarFisikadanAplikasinya.pdf - Published Version Download (1MB) | Preview |
Abstract
Telah dilakukan deposisi lapisan tipis ZnO:Al dengan DC-sputtering sebagai bahan sensor gas CO. Lapisan tipis
ditumbuhkan pada substrat alumina yang telah terintegrasi elektroda dan pemanas dari lapisan Ag yang dibuat
dengan teknik lithografi. Deposisi lapisan tipis ZnO:Al pada substrat alumina dilakukan dengan parameter
sputtering yaitu tegangan DC 3 kV, arus listrik 10 mA, tekanan kerja 1x10-1 torr, jarak elektroda 2.5 cm, dengan
waktu deposisi selama 120 menit, dan suhu substrat divariasi dari (100-250) °C. Suhu kerja sensor gas lapisan
tipis ZnO:Al diperoleh sebesar 180⁰C pada waktu deposisi l20 menit dan suhu substrat 200⁰C dengan
sensitivitas sebesar 59,73% untuk mendeteksi gas CO pada konsentrasi 4423 ppm. Hasil analisis struktur kristal
dengan XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al yang terdeposisi pada substrat alumina adalah polikristal
dengan puncak dominan ke arah bidang (002) yang butir-butir kristalnya terorientasi dengan sumbu-c tegak
lurus pada permukaan substrat. Berdasar hasil analisis struktur mikro dengan SEM terlihat bahwa lapisan tipis
ZnO:Al terdeposisi merata pada permukaan substrat dan memiliki struktur berpori antar butir-butirnya dan
diperoleh ketebalan lapisan sekitar 0,2 μm. Hasil analisis unsur dengan EDS menunjukkan bahwa lapisan yang
terdeposit pada substrat dengan komposisi yaitu 65,74% atom Zn, 31,67% atom O, dan 2,58% atom Al
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Uncontrolled Keywords: | Lapisan tipis ZnO dan ZnO:Al, Sputtering, sensor gas, XRD, SEM. |
| Subjects: | Q Science > QC Physics |
| Divisions: | Faculty of Industrial Technology > Physics Engineering |
| Depositing User: | Mr. Tondo Indra Nyata |
| Date Deposited: | 17 Sep 2019 02:31 |
| Last Modified: | 17 Sep 2019 08:30 |
| URI: | http://repository.its.ac.id/id/eprint/70801 |
Actions (login required)
 |
View Item |