Deposisi Lapisan Tipis ZnO:Al Dengan DC-Sputtering Sebagai Bahan Sensor Gas CO

Purwaningsih, Sri Yani and -, Ihsan and -, Triwikantoro (2009) Deposisi Lapisan Tipis ZnO:Al Dengan DC-Sputtering Sebagai Bahan Sensor Gas CO. Prosiding Seminar Fisika dan Aplikasinya 2009.

[img] Text
2009_DeposisiLapisanTipisZnO-Al_ProsidingSeminarFisikadanAplikasinya.pdf - Published Version

Download (1MB)

Abstract

Telah dilakukan deposisi lapisan tipis ZnO:Al dengan DC-sputtering sebagai bahan sensor gas CO. Lapisan tipis ditumbuhkan pada substrat alumina yang telah terintegrasi elektroda dan pemanas dari lapisan Ag yang dibuat dengan teknik lithografi. Deposisi lapisan tipis ZnO:Al pada substrat alumina dilakukan dengan parameter sputtering yaitu tegangan DC 3 kV, arus listrik 10 mA, tekanan kerja 1x10-1 torr, jarak elektroda 2.5 cm, dengan waktu deposisi selama 120 menit, dan suhu substrat divariasi dari (100-250) °C. Suhu kerja sensor gas lapisan tipis ZnO:Al diperoleh sebesar 180⁰C pada waktu deposisi l20 menit dan suhu substrat 200⁰C dengan sensitivitas sebesar 59,73% untuk mendeteksi gas CO pada konsentrasi 4423 ppm. Hasil analisis struktur kristal dengan XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al yang terdeposisi pada substrat alumina adalah polikristal dengan puncak dominan ke arah bidang (002) yang butir-butir kristalnya terorientasi dengan sumbu-c tegak lurus pada permukaan substrat. Berdasar hasil analisis struktur mikro dengan SEM terlihat bahwa lapisan tipis ZnO:Al terdeposisi merata pada permukaan substrat dan memiliki struktur berpori antar butir-butirnya dan diperoleh ketebalan lapisan sekitar 0,2 μm. Hasil analisis unsur dengan EDS menunjukkan bahwa lapisan yang terdeposit pada substrat dengan komposisi yaitu 65,74% atom Zn, 31,67% atom O, dan 2,58% atom Al

Item Type: Article
Uncontrolled Keywords: Lapisan tipis ZnO dan ZnO:Al, Sputtering, sensor gas, XRD, SEM.
Subjects: Q Science > QC Physics
Divisions: Faculty of Industrial Technology > Physics Engineering
Depositing User: Mr. Tondo Indra Nyata
Date Deposited: 17 Sep 2019 02:31
Last Modified: 17 Sep 2019 08:30
URI: http://repository.its.ac.id/id/eprint/70801

Actions (login required)

View Item View Item