Analisis Lebar Celah Pita Energi Dan Ikatan Molekul Lapisan Tipis a-Si:H Yang Ditumbuhkan Dengan Metode PECVD

Maslakah, Umi (2015) Analisis Lebar Celah Pita Energi Dan Ikatan Molekul Lapisan Tipis a-Si:H Yang Ditumbuhkan Dengan Metode PECVD. Undergraduate thesis, Institut Teknologi Sepuluh Nopember.

[img]
Preview
Text
1110100030-Undergraduate Thesis.pdf - Published Version

Download (1MB) | Preview

Abstract

Penelitian terkait analisis lebar celah pita energi dan ikatan molekul lapisan tipis a-Si:H yang ditumbuhkan dengan metode PECVD telah dilakukan. Penelitian ini menggunakan variasi temperatur chamber PECVD saat penumbuhan lapisan tipis, yaitu pada 150oC, 200oC, dan 250oC. Karakterisasi dilakukan dengan menggunakan pengujian XRD, AFM, FTIR dan Spektrofotometri UV-Vis. Hasil analisis sampel secara keseluruhan menunjukkan lapisan tipis yang terbentuk yaitu SiH dengan struktur amorf (a-Si:H). Nilai lebar celah pita energi dari sampel lapisan tipis a-Si:H berkisar antara 1.03 eV – 1.89 eV yang termasuk dalam rentang bahan semikonduktor, sebagai hasil variasi temperatur deposisi. ===================================================================================================== Analysis on energy band gap and molecular bonding of hidrogenated amorphous silicon (a-Si:H) thin films deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) have been carried out. The a-Si:H films have been grown in various chamber temperatur of 150oC, 200oC, and 250oC. Characterization using XRD, AFM, FTIR and UV-Vis Spectrophotometry were then conducted for the deposited films. All thin film samples exhibited to be SiH state with the amorphous structure, having energy band gap in the range of 1.03 eV – 1.89 eV. These films are as semiconducting materials with controlled band gap, as result of varying deposition temperatur.

Item Type: Thesis (Undergraduate)
Additional Information: RSFi 530.41 Mas a
Uncontrolled Keywords: ikatan molekul, lebar celah pita energi, PECVD, silikon amorf terhidrogenasi.
Subjects: Q Science > QC Physics
Divisions: Faculty of Mathematics and Science > Physics > 45201-(S1) Undergraduate Thesis
Depositing User: Mr. Tondo Indra Nyata
Date Deposited: 17 May 2018 03:01
Last Modified: 17 May 2018 03:01
URI: https://repository.its.ac.id/id/eprint/51894

Actions (login required)

View Item View Item