Fabrikasi Sensor Gas Karbon Monoksida (CO) Berbasis Lapisan Tipis ZnO:Al

-, Ihsan and Purwaningsih, Sri Yani and -, Triwikantoro (2009) Fabrikasi Sensor Gas Karbon Monoksida (CO) Berbasis Lapisan Tipis ZnO:Al. PROSIDING SEMINAR PASCASARJANA IX ITS 2009 (SNPs IX ITS 2009).

[img] Text
2009_FabrikasiSensorZnO_ProsidingSeminarPascasarjana.pdf - Published Version

Download (2MB)

Abstract

Dalam penelilian ini lelah dibuat sensor gas CO berbasis lapisan lipis Zn0:Al. Lapisan lipis ZnO:Al ditumbuhkan pada substrat alumina yang terintegrasi elektroda dan pemanas dari lapisan perak (Ag). Lapisan tipis ZnO:Al ditumbuhkan dengan teknik DCSputtering dengan parameter deposisi yaitu tegangan DC 3 kV, arus listrlk 10 mA, tekanan 1x10-1 torr, jarak elektroda 2,5 cm, suhu substrat 200 oC, dan waktu deposisl 120 menit. Karakteristik sensor gas meliputi penentuan suhu operasi, sensitivitas, waktu tanggap, dan kestabilan sensor. Hasil pengujian karakteristik sensor menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al memiliki waktu tanggap (56,7 ± 3,3) sekon, dengan sensitivitas sebesar 59,92% pada konsenlrasi gas CO 4423 ppm. Uji kestabilan sensor menunjukkan bahwa sensor gas CO berbasis lapisan tipis Zn0:Al lebih stabil pada suhu operasi yaitu 180°C.

Item Type: Article
Uncontrolled Keywords: DC-Sputtering, lapisan tipis ZnO:Al, sensitivilas, waktu tanggap
Subjects: Q Science > QC Physics
Divisions: Faculty of Mathematics and Science > Physics
Depositing User: Mr. Tondo Indra Nyata
Date Deposited: 17 Sep 2019 03:45
Last Modified: 18 Sep 2019 01:45
URI: http://repository.its.ac.id/id/eprint/70803

Actions (login required)

View Item View Item