-, Ihsan and Purwaningsih, Sri Yani and -, Triwikantoro (2009) Fabrikasi Sensor Gas Karbon Monoksida (CO) Berbasis Lapisan Tipis ZnO:Al. PROSIDING SEMINAR PASCASARJANA IX ITS 2009 (SNPs IX ITS 2009).
Preview |
Text
2009_FabrikasiSensorZnO_ProsidingSeminarPascasarjana.pdf - Published Version Download (2MB) | Preview |
Abstract
Dalam penelilian ini lelah dibuat sensor gas CO berbasis lapisan lipis Zn0:Al. Lapisan lipis ZnO:Al ditumbuhkan pada substrat
alumina yang terintegrasi elektroda dan pemanas dari lapisan perak (Ag). Lapisan tipis ZnO:Al ditumbuhkan dengan teknik DCSputtering
dengan parameter deposisi yaitu tegangan DC 3 kV, arus listrlk 10 mA, tekanan 1x10-1 torr, jarak elektroda 2,5 cm, suhu
substrat 200 oC, dan waktu deposisl 120 menit. Karakteristik sensor gas meliputi penentuan suhu operasi, sensitivitas, waktu tanggap,
dan kestabilan sensor. Hasil pengujian karakteristik sensor menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al memiliki waktu tanggap (56,7 ±
3,3) sekon, dengan sensitivitas sebesar 59,92% pada konsenlrasi gas CO 4423 ppm. Uji kestabilan sensor menunjukkan bahwa sensor
gas CO berbasis lapisan tipis Zn0:Al lebih stabil pada suhu operasi yaitu 180°C.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Uncontrolled Keywords: | DC-Sputtering, lapisan tipis ZnO:Al, sensitivilas, waktu tanggap |
| Subjects: | Q Science > QC Physics |
| Divisions: | Faculty of Mathematics and Science > Physics |
| Depositing User: | Mr. Tondo Indra Nyata |
| Date Deposited: | 17 Sep 2019 03:45 |
| Last Modified: | 18 Sep 2019 01:45 |
| URI: | http://repository.its.ac.id/id/eprint/70803 |
Actions (login required)
 |
View Item |